阿斯麦(ASML)周二宣布,英特尔已率先部署其尖端高数值孔径(High NA)EUV光刻机,正式投入Panther Lake笔电处理器的生产制造。


继2024年开启技术验证后,英特尔现已通过实操部署,致力于提升芯片制程中微观电路图案的印制精度与效率。

尽管该设备造价高达4亿美元且技术落地难度极大,但面对原子级工艺挑战,英特尔正通过在关键层位集成High NA技术,与阿斯麦共同加速设备优化。

该芯片将依托英特尔18A制程生产,目前相关技术正由俄勒冈州希尔斯伯勒研发中心进行核心工艺升级与迭代。